配線抵抗や電流密度が設計値を超えると、電源電圧の低下(IRドロップ)や金属の物理的損傷(EM)が発生し、回路の動作不良や寿命低下につながります。
本節では、電源レイアウトの設計ポイントと物理的な破壊メカニズムを整理します。
要因 | 内容 |
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配線抵抗(R) | 電源・GNDメタルが細い/長い |
電流(I) | ロジックやI/Oで大電流負荷 |
電圧降下(V = I×R) | 電源ラインに想定外のドロップが発生 |
結果 | ゲートしきい値変化・動作遅延・誤動作リスク上昇 |
要因 | 内容 |
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高電流密度 | 金属原子が移動(原子フラックス) |
配線断線 | Void(空洞)や hillock(盛り上がり)発生 |
長期信頼性 | 長時間で劣化蓄積 → 製品寿命低下 |
対象 | Metal層・Via・コンタクトなど導通部すべて |
対策項目 | 内容 |
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パワーグリッド強化 | GND/VDD配線を多層化・太配線化 |
IRシミュレーション | Dynamic IR / Static IR のツール活用 |
Via冗長化 | 複数Via配置で局所集中を緩和 |
EMチェック | EDAツールで電流密度分布を解析 |
Current Aware Routing | 電流密度を意識した自動配線制御 |
除外領域設定 | 高速クロック/敏感アナログ部分は保護設計併用 |
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