topics: [“CFET”, “GAA”, “次世代半導体”]
GAA(Gate-All-Around)構造によって、
MOSFET における 電界制御の問題はほぼ解決されました。
では次に、何が限界になるのでしょうか。
答えは、
電界ではなく「配置」と「熱」
です。
本記事では、
を整理します。
GAA によって得られたのは、
でした。
しかし同時に、以下の制約が顕在化します。
電界制御が効いても、置く場所が無い
という状況に近づきます。
微細化が進むほど、
します。
GAA はデバイスとしては優秀でも、
配線視点では厳しい構造です。
GAA チャネルは、
という問題を抱えます。
性能を上げるほど
熱が律速要因になる構造です。
これらの制約に対する一つの解が
CFET(Complementary FET) です。
CFET の基本思想は単純です。
これは、
電界制御ではなく「配置効率」を上げるための構造
です。
横方向のスケーリングは、
によってほぼ限界に達しています。
一方、上下方向は、
を持ちます。
CFET は、
「残された自由度」を最大限に使う構造
だと言えます。
CFET が現実味を帯びる理由の一つが
BPR(Backside Power Rail) です。
CFET と BPR は、
3D 配置と電源分離を同時に成立させる組み合わせ
として設計されています。
CFET は魅力的ですが、成立は容易ではありません。
熱は 3D 構造の最大の敵です。
これは製造技術の根幹に関わります。
CFET は
単体デバイスではなく「複合体」として設計する必要があります。
CFET は、
です。
それは、
という、設計軸の移動を意味します。
CFET は、
「作れれば勝ち」ではなく
「成立させられるかが問われる構造」
だと言えるでしょう。
GitHub Pages(公開教材・日本語)
https://samizo-aitl.github.io/Edusemi-v4x/f_chapter1_finfet_gaa/
GitHub(ソース管理・Markdown原稿)
https://github.com/Samizo-AITL/Edusemi-v4x/tree/main/f_chapter1_finfet_gaa