🧪 5.6 チップ完成に向けた最終検証ステップ
Final Verification Toward Tapeout
🎯 本節の目的｜Objectives
- GDS完成後に必要な最終検証項目を体系的に整理する
Understand the final verification items required before chip tapeout - ERC・Antenna Check・Fill構造などの要点を把握する
Learn key checks such as ERC, antenna effect, and fill structure - tapeout-ready GDSを目指した整合性の取り方を理解する
Grasp how to ensure manufacturability before final tapeout
🧪 最終検証ステップ一覧｜Final Sign-off Checklist
| ✅ 検証ステップ Check Step |
📋 内容概要 Description |
|---|---|
| DRC | 物理ルール検証 Design Rule Check |
| LVS | 論理等価性検証 Layout vs Schematic |
| ERC | 電源・ピンの整合性確認 Electrical Rule Check |
| Antenna Check | 帯電破壊リスク確認 Plasma charge damage check |
| Fill Cell確認 | メタル密度均一化 Metal density equalization |
| Boundary構造 | PADとChipエッジ確認 Chip I/O and corner structure |
| GDS整合性 | 出力ファイル・命名・圧縮など GDS output readiness |
🔍 ERC｜Electrical Rule Check
| 🔍 チェック項目 Item |
🛠️ 例 Examples |
|---|---|
| 未接続ピン | フローティング出力がないか |
| 電源の短絡・断線 | GND/VDDネットが正しく接続されているか |
| 階層電源の整合性 | 上位モジュールとのPower Pin一致 |
📌 OpenLaneまたはMagic抽出Netlistを用いて確認可能です。
⚡ Antenna Check｜Antenna効果対策
- 製造中の帯電破壊を防ぐための重要チェック
- ポリやメタルが長く露出していると酸化膜が破壊されるリスク
- 対策として：
antenna diodeセルの挿入- OpenLaneのAntenna自動チェックを使用
set ::env::ANTENNA_CHECK_FULL true
🧱 Fill Cell確認｜Metal Density Equalization
- 配線密度のムラを防ぎ、CMP工程での平坦性確保
- 自動的に
fill_cells,tap_cellsを追加可能（OpenLane対応）
set ::env::FILL_INSERTION true
📌 特に大面積のSoCではこの処理が重要です。
📐 Chip Boundary構造の確認
| ⚙️ 要素 | 💡 内容 |
|---|---|
| PAD配置 | 入出力ピンとその保護セル配置 |
| Corner Cell | Chip角部に必須のセル配置 |
| I/O Tap | 境界付近の電源整合用セル |
📦 パッケージ実装との整合を視野に、正確な配置が求められます。
📋 Tapeout前のチェックリスト｜Final Tapeout Checklist
| 📌 項目 Item |
✅ チェック内容 What to Check |
|---|---|
| DRC | All physical rules are satisfied |
| LVS | Logical equivalence confirmed |
| ERC | Power, pins, unconnected nets |
| Fill Cell | Metal density balanced |
| Antenna | No violation or diode inserted |
| GDS | Proper output, compression, naming |
✅ 本節まとめ｜Summary
- 最終検証は、製造に耐えるチップかどうかを決定づける重要工程
Final verification ensures manufacturable, reliable chip designs - Sky130 + OpenLane により、多くのチェックが自動化可能
Most checks can be automated in the Sky130 flow - GDS出力前にERC/Antenna/Fillを含む包括的チェックが必要
Include ERC, antenna, and fill structure in your final sign-off