📐 レイアウトの基本原則と設計ルールの意図

📐 Layout Principles and Design Rule Intentions


📘 概要 | Overview

レイアウト設計とは、論理回路を物理的構造としてシリコン上に実装する工程です。
Layout design is the process of implementing logic circuits as physical structures on silicon.

PDK(Process Design Kit)に従って設計ルールを遵守しながら、
性能・信頼性・歩留まりのトレードオフを最適化することが求められます。
Following the PDK rules, designers must balance performance, reliability, and yield.

このセクションでは、基本的なレイアウト構造と設計意図の理解を目的とします。
This section focuses on understanding the basic layout structures and the intent behind design rules.


🧱 幅(Width)と間隔(Spacing) | Line Width and Spacing

項目 / Item 説明 / Description 教育的意義 / Educational Significance
最小幅
Minimum Width
各層(Poly、Metal等)に定義される最小線幅
Minimum line width defined for each layer (Poly, Metal, etc.)
プロセス限界や露光限界の反映
Reflects process and lithography limits
最小間隔
Minimum Spacing
同一層・異層間の必要な距離制約
Required spacing between same or different layers
ショート・リーク・干渉の防止
Prevents shorts, leakage, and interference
W/Sルール(Width/Spacing Rule) PDKで定義される層ごとの幅と間隔の組み合わせ
Combined rules for width and spacing per layer in PDK
歩留まり・耐電圧・CMP対応設計の基礎
Basis for yield, breakdown voltage, and CMP

例:Metal1 の最小幅 0.14 μm、最小間隔 0.14 μm(ピッチ = 0.28 μm)
Example: Metal1 minimum width = 0.14 μm, spacing = 0.14 μm (pitch = 0.28 μm)


🛤️ 配線層と層構成 | Routing Layers and Stack Structure

層 / Layer 方向 / Direction 主用途 / Primary Use
Poly 任意 / Arbitrary ゲート構造 / Gate structure
Metal1 横方向 / Horizontal ローカル信号配線 / Local signal routing
Metal2 縦方向 / Vertical 電源/GND配線(中間層)
Power/GND routing (mid-level)
Metal3〜n 交互 / Alternating グローバル配線、パワーグリッド、クロック等
Global routing, power grids, clocks

🔌 パワーグリッドとウェルタップ | Power Grids and Well Taps


🧩 レイアウト基本ルールと意図 | Layout Design Rules and Their Intent

項目 / Item 意図 / Intent
Min Width フォトリソ精度・プロセス下限の確保
Ensures lithographic accuracy and process limitations
Min Spacing 金属間ショートやリークの防止
Prevents shorts and leakage between lines
Enclosure コンタクトやViaの完全被覆を確保し接続信頼性向上
Ensures full coverage of contacts/Vias for reliable connections
Notch 鋭角・隙間によるストレス集中を防ぐ
Prevents stress concentration from narrow gaps or corners
Density CMP均一性を保つためMetal Fillを適用
Maintains CMP uniformity using metal fill
Overlap / Overlap Margin 層間の意図的な重なりを定義(例:コンタクトとMetal)
Defines intentional overlaps between layers (e.g., contact-to-metal)
Overlay(オーバーレイ) マスク合わせずれの許容範囲
Allowed misalignment tolerance between masks

🎯 教材的意義 | Educational Perspective


🔗 次のセクション | Next Section

cmp_dummy_pattern.md:CMP均一性のためのパターン工夫
CMP Dummy Patterns: Layout techniques for planarization control


🧱 応用編 第4章:レイアウト設計と最適化 /
🧱 Applied Chapter 4: Layout Design and Optimization
📘 セクション一覧 / Section Index


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