本セクションでは、レイアウト設計における代表的な実例を通じて、設計ルール(DRC)の適用例を紹介します。
DRCルールは抽象的に見えますが、構造と配置を具体化することで理解が深まります。
要素 | 説明 |
---|---|
Poly | ゲート構造。NMOS/PMOSの間に配置 |
Diffusion | P+/N+ 領域を拡張し、ソース/ドレイン形成 |
Metal1 | 信号・電源配線に使用 |
Via | 層間接続(Poly〜Metal1、M1〜M2など) |
GND/VDD | 上層Metalでグリッド化またはリング配置 |
📎 DRCルールの確認点:
状況 | 効果 | DRC適合性 |
---|---|---|
Fillなし | CMP不均一による段差・露出不良 | Density違反の可能性 |
Fillあり(自動) | 配線密度を局所調整 | CMP均一性向上・DRC合格 |
Fillあり(除外領域あり) | 高速信号周辺に影響抑制 | クロストーク低減と歩留まり確保の両立 |
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